光刻胶配方的作用机理是，在曝光工序中，光引发剂在接受光照后生成酸，该酸会引发光刻胶树脂的酸催化反应。当使用负性光刻胶时，会发生交联反应，通过这种反应，曝光区和未曝光区在显影液中的溶解性不同，从而形成图案。