本公司针对248nm波长,制造胶片厚度为0.30um至12.0um的工程适用KrF光致抗蚀剂产品。KrF光致抗蚀剂产品系列中,正型光致抗蚀剂与负型光致抗蚀剂均可生产。若您为开发项目,正寻找KrF光致抗蚀剂解决方案,可联系本公司,我们将提供有关产品系列的更加具体的数据。
-目标:厚度0.54um (Res. 180nm, 250nm)-用途:注入层和蚀刻层
-目标:厚度0.30um (Res. 180nm)-用途:注入层
-目标:厚度0.54um (Res. 180nm, 250nm)-用途:注入层和蚀刻层-
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